不過明清的佃仆製已處於不斷衰落的過程中，尤其是清中葉以後，佃仆對主家的隸屬關係出現了鬆弛的趨向。如服役範圍從無休止的“分外之征”趨向相對固定化，並需支付一定的酒資、小費。佃仆的數量日益減少。部分佃仆用贖身的辦法，解除了與地主的主仆名分。同時，封建法律也有所變化。清雍正五年上諭，要將皖南伴俏、世仆中“文契無存，不受主家豢養者”開豁為良，開始了一個在法律上縮小世仆範圍的過程。嘉慶十四年(1809)，皖南被開豁為良的世仆達數萬人。道光五年(1825)，又下達過類似的上諭。清末，佃仆一般隻存在於一些強宗大族和縉紳地主的宗族內；民國年間，則多為封建宗法勢力強固的宗族之祠堂所擁有，私人占有者已屬罕見。
明清時期，地租形式也發生了較大的變化。實物分成租仍流行於全國，但已經開始了從分成租向定額租的全麵轉化。定額租製下的主佃關係，一般隻是一種單純的納租關係。這是當時租佃製度的主流。勞動地租隻在個別地區殘存。有的地方，地主欲求佃農送租上門，已須支付一定的“腳力錢”。地主不再指揮生產或關心生產的好壞，以致出現了“惟知租之人而不知田之處者”的現象。在商品貨幣經濟的刺激下，從定額租轉化而來的由以折納實物的貨幣租也有了一定程度的發展。但當時的貨幣租仍屬於封建地租的範疇，在各類地租形式中所占比例也不大。至20世紀30年代，在經濟比較發達的江蘇省，貨幣租約占地租的百分之十六；浙江、安徽均為百分之十。
商品經濟發展、人身依附關係削弱和定額租的流行，帶來了押租製與永佃權的發展。
押租製就是佃客在開始承佃田地之時向地主交納一定數量押金的製度。明朝萬曆年間(1573～1620)，福建的個別地區已有實行押租的記載。清初，押租製漸次流行，至乾、嘉年間(1736～1820)，已遍及十八個行省。押租一般具有兩種涵義，其一，它代表一定的地權，故又稱“頂首”、“基腳”等；其二就是作為地租的保證金，所以有的地區稱之為“信錢”、“押腳”、“墊金”等。“若有欠租，便可扣抵”，就這一點說，押租製的性質與當時流行的預租製相近。押租製發展的主要原因，是由於佃農抗租鬥爭激化，租佃間人身依附關係鬆弛化，使單純靠超經濟強製實現地租遭到了嚴重困難，因而需要經濟關係作保證。押租額一般都視地租額為高低，但各地區並不一致，有的地方押租額高出地租許多。押租一般交納貨幣。由於交納押租使佃農損失了一定的利息，以及地主常常抑勒佃農加押，或當佃農退佃時拒絕退還押金，即所謂“爛押”，押租製使佃農所受的經濟剝削加重了。民國年間，押租製仍在各地普遍流行。
所謂永佃權，就是對同一塊土地，在地主對它擁有田底權(所有權)的同時，由佃農擁有它的田麵權(使用權)。地主在買賣田底時，不能隨意更換這塊土地上的佃農，而佃農對土地的使用，以及在轉讓田麵時，也不應受地主的幹預。永佃權出現於宋代，元代也有個別的記載，但它的普遍發展，並形成一種較為廣泛流行的製度，還是在明中葉以後。清代在南方經濟較為發達的江蘇、江西、福建、廣東、浙江、安徽等省盛行此製。民國時期，永佃權更為發達。1936年，江蘇省永佃農占佃農總數的百分之四十，浙江占百分之三十，安徽占百分之四十四。各地對永佃權稱謂不一，如稱之為田麵、田皮、田腳、水苗、水租等等。永佃權的形成是通過買賣田皮、田麵、佃業、質業，向地主交納押金，及農民典押或出賣田底而保留田麵等等而來。有少數富農為了擴大經營，也常常通過價買獲得大批土地的永佃權，雇工經營，榨取剩餘勞動。另有一些人，甚至包括紳監土豪，他們買取永佃權，是為了將土地轉手出租，從事地租再剝削，這就是典型的二地主了。但多數貧苦佃農爭取永佃權，是為了維持簡單再生產，發展個體經濟。永佃權的發展，雖然並未減輕佃農所受的經濟剝削，卻使他們基本擺脫了地主對生產過程的幹預，爭得了較為穩固的耕作權，在地權集中、佃權競爭激烈的情況下，有了反對地主增租劃佃的手段，從而也就贏得了更多的人身自由。
明清以來，隨著佃農隊伍的擴大和自由租佃關係的發展，封建政府逐漸介入、幹預租佃關係，代表地主階級集中行使對佃農的控製權。一方麵，早在元朝，封建政府就曾詔令私人地主蠲減地租。在清初，類似的蠲減地租的詔書頒發次數更多，意在推行與民休息政策，防止私人地主竭澤而漁，激化階級矛盾。另一方麵，行使保障私人地主經濟利益的政策。南宋末年的法令中，已有“十月初一已後，正月三十日已前，皆知縣受理田主詞訴，取索佃戶欠租之日”的規定。雍正五年清廷在禁止地主責打佃農的同時，又以法律形式規定了佃農欠租的刑事處分條文。此後各地方政府發布禁止佃農拖欠、拒交地租的告示，用政權的力量協助私人地主催租的現象日漸普遍。太平天國失敗後，蘇浙地區出現一種叫做“租棧”的組織，有的為官私合辦，有的由豪商地主出麵，官府為幕後支持者，聯合某一地區的地主，置田業公會，設收租總棧，統一向農民收租。每年從租糧中抽出一部分上交地方政權，作為他們協助收租的報酬。民國時期，租棧組織仍是蘇浙地區向農民實行超經濟強製的主要工具。這是政權力量介入租佃關係的一種具體形式。
從總體看，1949年以前，中國的租佃製度並沒有全麵進入單純納租關係階段，資本主義性質的租佃關係尚未發生。土地改革運動後，中國大陸的封建租佃製度被取消。