北朝時，由專理寺院的僧官機構僧曹所管理的人戶。當時佛教興盛。百姓逃避賦役，有的削發為僧尼，有的投靠寺院為依附農民。北魏皇興三年(469)至承明元年(476)間，沙門統(即朝廷所設的僧官)曇曜建議，平齊戶(467年北魏南侵宋青州，俘獲的人民中有一部分所謂“民望”即地主被安置在乎城，並在附近設立一個平齊郡，這些人就稱為“平齊戶”)、涼州軍戶(亦為北魏平定涼州後被迫遷移到代京一帶的人戶)和民戶，有能年輸穀六十斛人僧曹者，粟稱“僧祗粟”，戶為“僧祗戶”。曇曜奏議獲準，州鎮僧曹普遍擁有僧祗戶和僧祗粟。
僧祗戶不是國家的編戶，除向僧曹納僧祗粟外，一般不服雜役。其身份與屯田戶相似。僧祗戶不屬於某一寺院，而由僧曹統領，實為寺院團體之佃客。僧祗粟由州郡都維那、維那(州郡僧官)掌管，欠年貸出，豐年收入；也可施給僧尼，賑濟貧民。
其後，主管僧曹者貸出僧祗粟謀利，不管水旱天災，責本還息。有的償利過本，有的翻改契券，致使貧弱下戶，備受侵逼。又役使僧祗戶，隨意逼召，離鄉遠役。如涼州趙苟子等二百家僧祗戶由於僧官違章逼令離鄉服役，其中五十多人自殺而死。永平四年(515)宣武帝詔：僧祗粟令所在州刺史，會同維那、都維那共同監括；尚書檢有僧祗粟處，按州開列原有穀數、出入贏利、賑濟多少，並貸償年月、現在或未收等數，送台省登記，又允許僧祗戶還鄉輸課，欠年以課穀周濟貧弱，在邊鎮的僧祗戶，如遇戰事，用以防邊。建德三年(574)，北周武帝滅佛，僧祗戶改變成為編戶。
北齊、北周之後，雖不見有屬於僧曹的僧祗戶，但依附於某一寺院的類似僧祗戶的農戶，隋唐時期一直存在。